从7nm到5nm芯片：中国国产光刻机的突破，从告别自嗨开始！

来源：　发布时间：2023-03-07

现在说到光刻机，我国就有很多企业都在关注，虽然国际方面因为美国的关系，不敢进口给我国高端的机型，但是对自主研发这块，我国还是能够进行突破，我国哈工大公布了研发成果，表示能够解决7nm支撑的光刻机，还获得光电仪器首届“金燧奖”。

来源：　发布时间：1970-01-01

绕过EUV光刻机也能造5nm芯片，新工艺打破行规，ASML万万没想到

来源：　发布时间：2021-11-01

最近，日本企业发现了新的工艺，或许不用EUV光刻机也能制造5NM制程的高端芯片。如果这个工艺成功，那么光刻机的历史将会被重写。

5nm芯片不再只有光刻机能造！变局来得太快，ASML未能料到

来源：　发布时间：2021-10-28

就在近日情况突然出现巨大变化，5nm芯片不再只有光刻机能造，日本企业研发出全新技术，荷兰ASML地位不保。