首页 > 标签:国产光刻机工厂 总共有 1 条记录

国产光刻机工厂落地雄安?中国电子院澄清:这是北京高能同步辐射光源

来源: 发布时间:2023-09-19

近期,一则消息在各大视频平台广为传播,称清华大学EUV项目把ASML的光刻机巨大化,实现了光刻机国产化,并表示这个项目已经在雄安新区落地。中国电子工程设计院有限公司(下称中国电子院)9月18日发声,称该项目并非网传的国产光刻机工厂,而是北京高能同步辐射光源项目(HEPS)。