“精积微半导体”获3亿元战略融资，加码半导体检测领域

导读：“精积微半导体”日前完成了3亿元人民币战略融资，投资方为上海半导体装备材料基金，张江浩珩，浦东科创，同鑫力诚，海望资本，上海精望，上海精测等。

2月14日消息，“精积微半导体”日前完成了3亿元人民币战略融资，投资方为上海半导体装备材料基金，张江浩珩，浦东科创，同鑫力诚，海望资本，上海精望，上海精测等。

公开资料显示，精积微半导体成立于2021年5月，是精测电子的子公司。该公司是一家半导体检测领域相关设备研发商，现阶段主要聚焦于明场晶圆有图形缺陷检测设备领域相关产品的研究开发以及生产制造等。

精测电子发布的财报显示，精积微半导体最近一期（2021年9月30日）的主要财务指标为资产总额49,889,525.05元，负债总额23,100,818.74元，净资产26,788,706.31元，营业收入0元，净利润-13,211,293.69元。

从专利维度看，根据智慧芽数据显示，精积微半导体目前在全球126个国家/地区中，共有1件已公开的专利申请，为发明专利“一种高NA物镜波像差检测方法”（公开号：CN113790873A），目前处于实质审查状态。专利摘要显示，此专利提供的一种高NA物镜波像差检测方法，能够解决高NA物镜的透射波像差测试困难的问题，对于制造高性能物镜具有重要意义。

值得注意的是，由于专利公开具有一定的滞后性，因而上述数据并不表示精积微半导体迄今为止只申请了一件专利。随着时间的推移，该公司未来或将公开更多的专利申请。